培训包括理论培训和上机培训，理论培训全体报名同学均可参见，理论培训后进行考试，最终选出3-4人参见上机培训
培训目标：
第1天
SEM工作原理，各种信号产生机制，如何正确开关机，各种探头所在位置与工作原理
如何更换样品，样品台初始化，如何使用Stage Navigator，样品位置储存与调取
初步了解SmartSEM软件，如何开启/关闭EHT，选择CCD进行样品室监控，如何更换高压/探头信号，各种扫描模式/扫描速度区别
调整光阑合轴，正确聚焦并消除像散
调整合适的亮度/对比度，拍摄SEM照片，存储和输出图片
SE2和Inlens探头的成像区别
调整合适的工作距离进行SE2探头拍照
调整合适的工作距离进行Inlens探头拍照
第2天
4QBSD元素信息与SE2形貌信息的区别
正确选择合适的BSD Gain，调整最佳亮度/对比度，拍摄BSD图片
ESB元素信息与SE2形貌信息的区别
正确选择合适的grid energy，调整最佳亮度/对比度，拍摄ESB图片
不同工作距离对探头信号的影响
选择合适的探头&工作距离，正确聚焦&消除像散，拍摄SEM图片
第3天
Tandem Decel模式的操作方法，使用注意事项
Plasma cleaner的操作方法
能够制备适合Tandem Decel模式的样品，并选择合适的拍摄参数，获得比较好的图像
为不同样品或在不同情况下选择合适的Plasma清洗条件
FE-SEM基础培训日程:
DAY 1 |
Topics |
6月5号 下午（周一） |
SEM基础理论 |
ZEISS G500电镜特点 |
理论测试 |
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6月6号 上午（周二） |
SmartSEM软件培训 |
SE2 Inlens探头培训 |
低电压/小束流拍样培训 |
DAY 2 |
Topics |
6月6号 下午 （周二） |
4QBSD探头培训 |
用户样品实测 |
交流、总结 |
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6月7号 下午 （周三） |
ESB探头培训 |
样品练习 |
交流、总结 |
DAY 3 |
Topics |
6月8号 下午 （周四） |
Tandem Decel 减速模式培训 |
练习 |
用户样品实测 |
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6月8号 晚上 （周四） |
等离子清洗培训 |
练习 |
培训总结、答疑 |
