X射线光电子能谱仪

型号:Thermo Fisher ESCALAB  Xi+

英文名称:X-ray photoelectron spectroscopy (XPS)

装机时间:20175

管理员:刘佳梅               17791598186               liujiamei@xjtu.edu.cn              

仪器简介:

ESCALAB Xi+是赛默飞世尔科技于20164月推出的一款数字化多功能光电子能谱仪。该设备采用第三代微距焦单色化X射线激发源,选择束斑面积聚焦可调范围为200um900um,能在较低运行功率下获得高灵敏度和最佳能量分辨率。ESCALAB Xi+配备了两套探测器,一套为六通道电子倍增器用于高计数率的能谱获取;另一套为二维位置分辨的微通道板探测器,用于位置分辨,能满足系统长期的高灵敏度XPS能谱的获取、成像,以及高本底俄歇能谱的获取。该设备自带的XPS标准谱库软件,可实现在线查询标准谱,可直接调用标准谱库软件中的标准谱图,并可直接用于对实测数据的谱峰拟合,非线性拟合,叠加比对等独一无二的功能,大大降低了谱峰拟合的难度和出错几率。因此,该设备可以高精度完成各种材料样品表面的元素成分、价态、相对含量、浓度掺杂及表面、深度分布等功能分析,确保所研发材料的性能的精确控制,以完成材料表面元素以及化合态的分布、识别、量化,功能分析和预测等。

  • 主要用于化学、材料、能源、机械等领域,可测试粉末、块状、纤维、薄膜等样品;分析内容包括表面元素组成及化学态定性定量分析、表面元素深度分析、表面元素分布分析等

  • 能够检测元素周期表中除H和He以外所有的元素;

  • 真空系统性能5×10-10 mbar,成像空间分辨率<1 μm;

  • 双阳极Al/Mg靶,功率400W;单色化的Al Kα,最佳能量分辨率≤45 eV,最佳空间分辨率≤20 ms;灵敏度4 Mcps@1.0 eV(650 μm),1.8 Mcps@1.0 eV(650 μm),700kcps@1.0 eV(650 μm);

收费说明:该设备实行成本核算、有偿使用,具体收费标准见预约系统说明。

开放安排:面向校内外开放,校内用户优先,所有用户通过学校仪器设备物联共享信息系统预约和使用设备。

预约和开放时间:每周一13点整开放下一周的预约;周一~周五工作时间对校内外同时开放,校内优先,非工作时间只对自主操作用户开放使用。

核心参数:

1、X射线源

(1)靶:双阳极Al/Mg

(2)能量分辨率:0.43 eV/(Ag 3d5/2) 0.82 eV/(C 1s)

(3)最小分析区域(收谱)20μm

(4)灵敏度: 4Mcps@1.0eV (650μm)  1.8Mcps@0.6eV (650μm) 700kcps@0.5eV (650μm)

(5)成像空间分辨率:小于1 μm

2、能量扫描范围及最小步长

(1)6meV (0~1,500eV)  12meV (0~3,000eV)   24meV (0~5,000eV)

3、最大分析面积 8mm