校内大型仪器设备技术交流系列讲座（三）：材料的扫描电镜分析

2017年11月3日在分析测试共享中心北109培训室举行了本学期的第三场大型仪器设备技术交流报告会。来自理学院的王力群老师做了关于“SEM和能谱的原理结构和制样方法”的报告，王老师对扫描电子显微镜(Scanning Electron Microscope-SEM)和能量色散谱（Energy Dispersive Spectrometer-EDS）的结构、工作原理及制样方法做了全面的介绍，并针对SEM电子枪的热场发射和冷场发射的的特点以及操作SEM的技巧做了详细的阐释。

机械学院国家重点实验室的高昆老师作了“场发射扫描电镜的特点及操作技巧”的报告，高老师针对日立SU8010冷场扫描电镜的特点和经验积累，通过各种SEM照片的对比，详尽地解释了影响成像质量的各种因素。

电信学院代艳竹老师介绍了“EBSD在材料分析中的应用”。EBSD-Electron Backscattered Diffraction（电子背散射衍射）的主要特点是在保留SEM的常规特点的同时进行空间分辨率亚微米级的衍射，从而可以获得材料的显微组织结构和晶体学数据，为快速高效的定量统计研究材料的微观组织结构和织构奠定了基础，已成为材料研究中有效的分析手段。

最后，任子君工程师汇报了分析测试共享中心的蔡司Gemini 500 型SEM的功能、特点及应用。

SEM是利用电子束扫描样品表面产生高分辨率形貌图像的设备，是微区分析中最重要和使用最广泛的手段之一，EBSD（电子背散射衍射）是一种更新的材料微区和结构的分析方法。通过本次交流会，使得参加报告会的师生对SEM和EBSD的工作原理、制样方法有了更深层次的了解，特别是通过提问探讨，对如何拍高质量图片的技巧方面得到点拨，受益匪浅。