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一、主要规格及技术指标
1.电子枪：浸没式肖特基电子枪
2.加速电压：1 ～ 30 kV（步长0.1 kV）；
3.电子束电流：10-12～3×10-5 A；
4. 电子束束流稳定性：优于±0.5×10-3/h；
5. 二次电子像分辨率：≤2.5nm (30 kV, 110-11A, 工作距离11 mm)
6. 束斑尺寸：≤20 nm (10 kV, 110-8 A, 工作距离11mm)
7. 空间分辨率：好于0.1μm
8. 背散射电子像灵敏度：成分分辨足以清晰分辨黄铜和黄铜
9. 波谱仪：5道波谱仪
10. 分析元素：5B - 92U
11. 分析精度：好于1% (主元素，含量＞5%)和5%(次要元素，含量～1%）
12. 分析速度：自动全元素定性分析时间≤40秒
13. 内置18个标准样品，且有“夜间自动仪器校准”功能，可以高效校准
14. 获得扫描电镜图像的同时，可实时显示所有能谱分析结果，并采集最多5种元素的波谱数据
15. Peak Doctor峰检测程序以及最新的算法可实现重叠峰的剥离，大区域、高分辨率的化学状态分析以及微量元素或轻元素的高灵敏度探测
16. 数据处理只需10s左右，且分析过程并不困难
二、主要功能及特色
电子探针(EPMA)主要用于地球科学和材料科学中固体样品表面微区原位主量和微量元素（5B-92U、含量>0.1%）的定量分析，具体功能用途归纳如下：
1. 图像观察：能够同时获得二次电子像、背散射图像、彩色光学显微及上述图象的数字化像。SEI和COMPO像最低放大倍率40倍；
2．波谱和能谱一体化分析：对样品的元素构成进行定点、定线、定面的定性分析，分析精度优于能谱；
3．波谱定量点/线分析：可以设置单点定量分析，多点自动逐点定量分析，沿一条线自动逐点定量分析等；可以设置不同实验条件
不同测试方法自动逐点分析。
4．元素面分布图：可以获得某一区域精细的元素分布特征，能准确反映元素种类及分布情况；同时可以使用“相图生成器”显示元素组成相同但比例不同的相；多高度面分析软件可消除高度影响，实现曲面户或者不平表面样品分析。
