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原子力显微镜(AFM)及白光干涉仪Demo开放公告

来源: 发布时间:2025-10-13 点击量:

为积极响应国家号召,推动国产设备普及应用,我中心联合西安维真光电科技有限公司,面向校内外师生及企业用户,开放国产Demo原子力显微镜(AFM)及白光干涉仪的体验与测试服务。诚邀您预约参观、带样实测并开展技术交流,共同助力高端国产仪器在科研与产业领域的深度应用。

一、开放安排

AFM Workshop格兰帕原子力显微镜(型号:HR - AMF)

校区 演示讲解时间 测样时间
创新港分析测试中心18-1003 10月15日10:00 - 10:30 10月15日10:30 - 10月26日17:00
兴庆分析测试中心南105 10月28日10:00 - 10:30 10月27日10:30 - 10月31日17:00

功能与参数

功能接触模式,轻敲模式,力曲线测试,相位成像模式

检测样品厚度,台阶高度,粗糙度,杨氏模量与粘附力

扫描范围50×50×17μm,Z轴分辨率≤0.035nm。

样品台行程尺寸:25.5mm*25.5mm*18mm。

Sensofar白光干涉仪(型号:S Neox)

校区 演示讲解时间 测样时间
创新港分析测试中心18-1003 10月21日10:00 - 10:30 10月21日10:30 - 10月26日17:00
兴庆分析测试中心南105 10月28日9:30 - 10:00 10月21日10:30 - 10月26日17:00

测量模式与参数

测量模式 纵向分辨率 横向分辨率 最大可测斜率 核心优势 典型应用场景

共聚焦

纳米级 0.15μm

71°

高横向分辨率,图像对比度清晰。

半导体芯片、OLED 掩膜板、BGA共面度等

干涉

PSI/CSI

纳米

0.1nm)

44°

纵向超高精度,适配超光滑表面及纳米台阶。 晶圆粗糙度、半导体芯片、碳化硅平面度、MEMS器件、光刻图案、摩擦磨损、光学器件等

Ai多焦面叠加

微米级

86°

可支援角度86°,适配超粗糙表面

涡轮叶片、皮纹表面3D打印等

二、使用方式:

使用过程中仅收取成本费用50元/样耗材如探针等)全免,且将安排专人辅助测试。

、预约方式

1. 微信扫码下方小程序 → 选择时段 → 填写样品信息

2. 无法扫码请邮件发送至:renzijun@xjtu.edu.cn或者15002900918@163.com,标题“体验预约+单位+姓名”,正文注明“设备类型/样品名称/期望时段”

3. 预约成功后将收到短信/邮件确认。校外人员需提前进行报备入校。

、注意事项

1. 校内师生接到测试安排时间后可直接前往指定地方进行测试。

2. 校外人员需提前 1 天联系任老师进行入校报备。

3. 样品需无毒、无挥发性、无强磁性;生物样品需提前固定并密封。

4. 大尺寸或特殊样品请提前沟通夹具需求。

五、技术支持与答疑群

微信群:扫描加入(加群请备注“单位+姓名”)

、联系方式

任子君 15891798619

孙伯乾 18509261465

让我们携手把国产高端仪器用起来、用得好、用得广!期待您的样品与创意!