西安交通大学分析测试中心目前已经完成离子注入机（中核同创科技有限公司，型号，LZD-600-X）的安装调试工作，各项指标符合测试要求。为帮助大家更好地了解和使用设备，中心将于即日起-2025年3月31日开放试运行。试运行期间按照八折收费，欢迎各课题组师生试用体验。目前可进行的测试实验有：
1.采用气体源注入He、N、O、Ar、H等非金属元素。
2.采用金属源注入Cu、Ag、Ti、Al、Cr等金属元素。
一、离子注入机介绍
图1离子注入机（中核同创科技有限公司，型号，LZD-600-X）
离子注入机的主要功能是将特定掺杂元素经由离子源电离，再通过加速器加速获得较高的动能，最后聚焦汇聚注入到样品表面，进而实现样品的掺杂与表面改性。通过改变注入元素种类、注入剂量等参数，可以探究不同注入参数对样品性能的影响。该离子注入机配备有金属离子源和气体离子源，金属以及无机元素的注入需求均可满足，对于聚合物、金属、无机材料等的表面改性均可适用。且该系统还配备有原位加热样品台，可以实现样品升温过程中的离子注入。此外，离子注入机既可以单独使用，也可以与真空互联系统联合使用，在高真空腔体内可同时实现材料的表面改性与表征。
二、重要技术指标及特点
1.注入能量：气体离子源最高70 KeV，金属离子源最高50 KeV，连续可调；
2.注入元素：Cu、Ag、Ti、Al、Cr等金属元素，以及He、N、O、Ar、H等非金属元素；
3.典型束斑尺寸直径100 mm，抵达样品表面的离子束流不均匀性≤ ±15％；
4.加速器电源电压稳定性优于± 2%，纹波系数优于2%；
5.极限真空压强≤ 8×10-5Pa，工作压强≤ 2×10-4Pa；
6.一套双工位样品台可以实现5℃~ 25℃冷却或25℃~ 300℃加热（加热温控精度±1 ℃）；
7.注入系统可以单独工作，也可以和真空互联系统进行联通协同运作；
8.设备具有良好的射线防护设施，在距机器外表面50 mm处检测射线剂量小于0.06 mR/h。
三、样品要求
1.样品应为固体，不能有挥发性物质。
2.测试过程中保持物理化学性质稳定，不易分解。
温馨提示：
1.如有测试需求，请在“大型仪器设备物联共享系统”中搜索“离子注入机”（创新港校区18号楼1层1037）进行送样预约。
2.所有用户需至少提前三天联系工程师沟通样品详细信息和测试方案，并按需求准备样品。
联系人：曹智15829363026刘佳梅17791598186
仪器放置地点：创新港校区18号楼主楼1层1037
