X射线光电子能谱仪(XPS)是分析测试中心真空互联实验与测试平台主体表征设备之一,由于疫情影响使得真空互联系统调试及正常运行工作暂缓,为满足创新港校区校内师生的XPS测试需求,将于即日起面向校内用户先行开放XPS常规样品测试功能,请大家登录大型仪器物联共享系统进行预约使用(预约设备名称:XPS真空互联系统),并仔细阅读仪器预约使用公告。
仪器介绍:
名称:X射线光电子能谱仪
型号:ThermoFisherESCALAB Xi+
一、主要规格及技术指标
1、X射线源
(1)靶:双阳极Al/Mg靶、单色化Al靶
(2)能量分辨率:0.43 eV/(Ag 3d5/2);0.82 eV/(C 1s)
(3)最小分析区域(收谱)20μm
(4)灵敏度: 4Mcps@1.0eV (650μm); 1.8Mcps@0.6eV (650μm) ;700kcps@0.5eV (650μm)
(5)成像空间分辨率:小于1 μm
2、能量扫描范围及最小步长:
6meV (0~1,500eV); 12meV (0~3,000eV) 24meV; (0~5,000eV)
3、最大分析面积 8mm
二、主要功能及特色
主要用于化学、材料、能源、电子、机械等领域,可测试粉末、块状、纤维、薄膜等样品;
分析内容包括表面元素组成及化学态定性定量分析、表面元素深度分析、表面元素分布分析等;
能够检测元素周期表中除H和He以外所有的元素;
真空系统性能5×10–10mbar。
三、样品要求
(1)本仪器不接收易挥发、易吸水、易腐蚀性样品,磁性物质送样时必须告知。
(2)块状样品高度需低于3.8mm,高度在1.5~3.8mm之间时,大小需控制在10mm×10mm以内,高度在1.5mm以下时,大小可稍微增大,尽量控制样品大小越小越好。
备注:目前只开放XPS常规样品测试功能。
管理员:刘佳梅
电话:17791598186
邮箱:liujiamei@xjtu.edu.cn
放置地点:创新港校区18号主楼1035-1037室(接样室1037室)