椭圆偏振光谱是一种无损无接触的光学测量技术,基于测量线偏振光经过薄膜样品反射后偏振状态发生的改变,通过模型拟合后得到薄膜、界面和表面粗糙层的厚度以及光学性质,如折射率和消光系数等等,可测厚度范围为1埃至几十微米,光谱覆盖190-885nm,可扩展至2100nm。
分析测试中心已经完成椭偏仪UVISEL PLUS的安装调试工作,具备开放使用条件,为使广大师生尽快熟悉相关设备性能,从即日起至2022年8月31日试运行,运行期间前100个样免费测试,每个课题组限免费10个样,超出部分按照原价5折收费。试运行期间暂时不开放各向异性光学性质以及变温测试功能,其他功能正常开放。欢迎各课题组师生试用体验。
基本信息:
型号:UVISEL PLUS
制造商:HORIBA
光谱范围:190-885nm,可扩展至2100nm
主要功能:
1. 光谱190-885nm内的折射率以及消光系数
2. 表征有机/无机块体材料以及薄膜样品厚度
3. 界面粗糙程度测量
4. 各向异性薄膜材料的光学性质表征
主要用途:
主要用于常见有机/无机块体材料以及薄膜材料的光学性质,例如折射率以及消光系数的表征,薄膜材料的厚度以及粗糙程度的测试,主要应用于微电子,光电子,太阳能,生物化学,柔性材料,包装以及冶金领域。
联系人:刘晓云
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