日立SU3500的工作电压0.3 – 30kV 连续可调,30 kV时分辨率 3 nm,3 kV时 分辨率可达7 nm,是目前市场上钨灯丝扫描电镜中低电压分辨率最好的电镜之一。与中心另一台更高端的场发射扫描电镜(Zeiss GeminiSEM 500)相比,SU3500分辨率稍低,但其可变压力模式允许对处于自然状态下的潮湿、油腻和非导电样品进行观察,电子束与空气分子相撞产生的正电荷可消除样品表面的多余电荷,因此不需要进行传统的干燥或镀膜等样品前处理过程。SU3500身躯娇小,但功能不容小觑,配备的牛津能谱和电子背散射衍射模块,可同时对材料的微区形貌、成分以及晶体微区取向等进行研究。SU3500与GeminiSEM 500在功能和测试成本上形成很好的互补,预计10天左右完成安装和调试。