XPS及真空互联系统

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所在实验室 创新港校区18号主楼1035-1037室 联系人 刘佳梅
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一、预约要求
(1)所有用户需严格遵守中心的《安全管理制度》和《工作规范》,熟悉《安全事故应急预案》,相关文件在中心网站规章制度中。
(2)送样时间:送样预约批准后,每周工作日下午接收样品,送样预约批准时间按照预约时间先后排队。正常仪器测试时间为周一至周五的9:00—18:00。
(3)所有用户按照预约样品个数送样,尽量不要更改送样个数,若特殊情况需要更改送样个数,请联系设备主管工程师修改。

二、收费标准
(1)普通测试(5元素以内,含C): 200元/样(校内),400元/样(校外)。
(2)普通测试(超过5个元素,每个元素附加费): 50元/元素 (校内),100元/元素(校外)。
(3)样品表面清洗:100元/样(校内),200元/样(校外)。
(4)XPS深度分析(使用时间小于3小时,含3小时):1500元/次(校内),3000元/次(校外)。
(5)XPS深度分析(使用时间大于3小时):800元/小时(校内),1500元/小时(校外)。
(6)UPS测试: 400元/样(校内),800元/样(校外)。
(7)XPS成像分析:400元/样(校内),800元/样(校外)。
(8)粉末样品制样:30元/样(校内),50元/样(校外)。
(9)XPS原位高低温测试800元/小时(校内),1600元/小时(校外)。

三、样品要求
(1)本仪器不接收易挥发、易吸水、易腐蚀性样品,磁性物质送样时必须告知。
(2)块状样品高度需低于3.8mm,高度在1.5~3.8mm之间时,大小需控制在10mm*10mm以内,高度在1.5mm以下时,大小可稍微增大,尽量控制样品大小越小越好。
(3)对于隐瞒样品信息而造成设备故障或损坏的,中心要求用户或用户课题组承担相应的维修费和误工费。

四、主要规格及技术指标

XPS真空互联系统是由XPS及等IPES、薄膜样品制备系统、原位高温高压反应池、原位光催化反应系统、电池原位系统等数套设备集成于一体的大型真空互联平台,各单元模块的主要性能指标如下:
(1)美国ThermoFisher Scientific公司的ESCALAB Xi+ X射线光电子能谱仪:
1.1真空系统性能:5×10-10mbar
1.2成像空间分辨率:小于1μm
1.3 X射线源
1.3.1靶:双阳极Al/Mg靶, 功率(400W)
1.3.2单色化的AlKα:最佳能量分辨率:≤0.45eV,最佳空间分辨率:≤20microns,
灵敏度(650μm): 4Mcps@1.0eV,1.8Mcps@0.6eV, 700kcps@0.5eV
1.3.3绝缘样品能量分辨率:0.43 eV/(Ag 3d5/2) 0.82 eV/(C 1s)
1.4最小分析区域(收谱)20μm
1.5最大分析面积 8mm
1.6 UPS:输出能量范围8.4~40.8eV,总光子数:>3×1013 photons/s;He I 能量分辨率优于90 meV,Xe 能量分辨率优于90 meV
(2)IPES系统:
真空度优于5×10-10 mbar,电子束能量5-100 eV,样品电流5-10 mA,能量分辨率优于0.6eV
(3)薄膜样品制备系统:
真空度优于5x10-10 mbar,蒸发源工作温度: 80~1100℃、300~1400℃、1000~2000℃
(4)原位高温高压反应池HPGC-100:
最高温度1200K,最大反应压力10 bar,可使用H2,O2,H2O,CO2,CH4等气体
(5)原位光催化反应系统:
温度范围:RT~500℃,光源波长200~1000nm, 真空度优于5×10-2mbar,最大工作压力不小于2bar
(6)电池原位系统:
高充电电压24V,最大电流2A,温度范围:RT~200℃,RT~50℃

五、主要功能及特色

可支撑的学科主要有材料学、材料物理与化学、化学、能源、机械、航空航天等涉及到材料研究的所有学科。可以实现各学科领域的深层次使用,不仅拥有对各种材料样品进行高精度的元素成分、价态、相对含量、浓度掺杂及表面、深度分布等分析的基本功能,同时,可以模拟催化反应过程进而研究反应机理,实时观察外延层生长的动力学过程和表面状态,确保所研发材料性能的精确控制,研究半导体能带结构及光催化机理进而精确控制制备高性能材料,实现电化学性能的原位评价等。