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一、预约说明

1、离子减薄分为SEM制样和TEM制样

2、SEM制备样品每样100元（校内），校外200元。样品要求直径不超过22mm，高度不得超过12mm，上下表面要平整。

3、TEM制样校内每小时50元，校外每小时100元，耗材另算：每样另加30元。

4、若遇节假日，测样时间顺延

二、预约要求

1、所有用户需严格遵守中心的《安全管理制度》和《工作规范》，熟悉《安全事故应急预案》，相关文件在中心网站规章制度中；

2、预约时间：每周五下午13:00起，校内用户可预约后两周的机时，校外用户可预约下一周的机时。正常开放时间为周一至周五的8:30—18:00。

3、要求提供信息：用户预约到机时后，请第一时间下载《设备预约信息登记单》填写后，提交设备主管工程师（邮箱发送或测试时纸质提交），审核合格后方可进行测试。

4、所有用户按需预约机时，不得恶意抢占机时。预约成功后，提前3天取消预约不收取任何费用；提前2天取消预约收取30%的测试费；提前一天取消预约将收取50%的测试费；当天取消预约或爽约将收取100%的测试费。

5、对于迟到者，将按预约开始时间计费。在不影响后续测试的情况下，允许超时测试，超时部分按时间收费。

三、主要规格及技术指标

1、离子束加速电压调节范围：0.8-10 KeV（步长0.1 KeV）

2、离子束流：单枪最大4.5 mA（双离子枪）

3、离子枪倾斜角度：±45°（精确度为0.1°）

4、样品摆动角度：最大360°，每步1°

5、样品台倾斜角度：-120°至210°（精确度为0.1°）

6、研磨角度范围：-90°至90°（由样品台倾斜角度决定）

四、主要附件及配置

TEM冷冻样品夹具