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一、主要规格及技术指标

离子源种类：液态Ga离子源；

离子源加速电压：0.5kV - 30 kV

束流强度：1pA - 65nA

电子束分辨率：0.6nm @ 15kV；0.7nm @ 1kV。

交叉点工作距离：4mm。

电子束加速电压：1kV－30kV。

样品室内径：不小于 370mm。

二、主要功能及特色

高分辨率电子束

高切割精度离子束

二次电子/背散射探头

气体注入系统：Pt、C、W等

三、主要附件及配置

1.能谱仪EDS

2.电子背散射衍射仪EBSD