飞行时间二次离子质谱（TOF-SIMS）是一种非常灵敏的表面分析技术,主要用于材料表面以下纳米级别的浅表层分析，能够检测元素周期表中所有元素及其同位素。检测限在ppm级别（特殊情况可至ppb）。可以提供样品表面、薄层、界面的详细元素和分子信息，并能提供全面的三维分析。可应用于有机,无机和生物样品表面成分分析，特别是在半导体、电池、涂层、玻璃、金属、陶瓷、生物材料、药品等领域有广泛应用。
西安交通大学大型仪器设备共享实验中心采购的飞行时间二次离子质谱仪已于近日完成安装调试。计划于2023年3月1日-2023年5月31日开放试运行，试运行期间半价收费，欢迎各位老师同学前来预约测试!
主要规格及技术指标
1. 质谱模式（高质量分辨率模式）：
1.1 质量分辨率：>17000(@29u); >26000(>200u) （FWHM）
1.2 质量范围：>12000u
1.3 质量精确度：<1mu for m<100u;<10ppm for m>100u
1.4 MS-MS前驱离子质量范围：15~4000u
1.5 灵敏度：> 8.0e8Al+/nC @ 7000 (FWHM)
1.6 信噪比：> 2.0e5(I(28Si+)/I(28.5u))
2. 成像模式（高空间分辨率模式）：
2.1 最小束斑直径（极限空间分辨率）：≤50nm
2.2 质量分辨率：> 9000 (FWHM) @ m > 50 u
3. 一次离子源（LMIG）
3.1 最大脉冲频率：50kHz
3.2 最小脉冲宽度：<0.7ns (FWHM)
3.3 最大离子束流能量：30keV
4. FIB(Ga)
4.1 离子束电压：15~30kV
4.2 最小束斑直径：<60nm
4.3 最大束流：>25nA
4.4 束流密度：> 20 nA @ 500nm spot size
主要功能及特色
广泛应用于无机、有机及生物样品表面的成分分析：
1. 在超高真空下得到样品表层的真实信息。
2. 可分析包括氢、氦在内的全部元素。
3. 可检测同位素，用于同位素分析或利用同位素提供的信息。
4. 能分析化合物，通过分子离子峰得到准确的分子量，通过碎片离子峰确定分子结构。特别是可检测不易挥发且热不稳定的有机大分子。
5. 通过扫描一次束或直接成像实现微区面成分分析。
6. 通过逐层剥离实现各成分的深度剖析（depth profiling），可完成三维微区成分分析。
样品要求
1. 样品必须适用于真空环境，应当为固体或粉末，不能分析液体或气体，本仪器不允许分析有毒、有害、有腐蚀性及放射性样品，磁性样品送样前需要提前告知。
2. 样品尺寸：长宽介于1~1.5cm之间，厚度小于0.5cm的薄片状样品。
用户QQ群
318178023（进群请备注学院和真实姓名）
联系人：周老师 梁老师
联系电话：18629365572 15229259676
放置地点：创新港18号楼主楼一层真空互联实验室（18-1035~1037室）
