【分析测试技术论坛第34期】EBSD应用培训

电子背散射衍射（简称EBSD）是材料科学中重要的分析技术之一。EBSD技术可配合扫描电子显微镜进行亚微米级空间分辨率的衍射分析，帮助科研人员从形貌、成分和取向信息等方面综合探索材料的结构新知，为提高EBSD实验过程中样品前处理能力及数据分析水平，我中心将联合中心联合联合牛津仪器公司，面向校内外用户共同举办EBSD应用培训

本次培训主要摘要如下：

培训时间：

2021年4月8日 上午：9：30-12：00 理论培训

下午14:30—18:00 上机演练

理论培训地点：创新港18号楼副楼分析测试中心18-5001

上机培训地点：创新港18号楼副楼分析测试中心18-1020

培训人：杨小鹏

清华大学材料与工程专业博士毕业，2014年加入牛津仪器，主要负责EBSD、EDS等电子显微镜附件仪器的应用技术支持与高级应用培训。对EBSD技术有深入的了解和开发经验

摘要：

一、ebsd样品制备

对于无变形样品的制样要求和有变形样品的制样要求、尺寸，表面质量等。

二、关于EBSD原理及操作

1. 为什么用菊池花样定义EBSD数据的质量？原理是什么？

2. 样品台倾斜后，成像的原理是什么？

3. EBSD拍摄时，步长的选取原则是什么？如何根据自己的样品选取合适的步长？

4. CS0与CS1的位置关系，对于变形样品如何选择CS1？对应的角度如何转换？

三、软件的使用

1. 扫描图像的FSE模式

2. Aztec live的使用

3. EBSD和能谱结合下，第二相的分离

四、数据处理

4. 如何分离同结构同成分的不同相，如何进行物相分析。

5. 如何确认织构和再结晶晶粒

6. 如何用软件计算孪晶体积分数

7. 如何计算尽量尺寸，并提取有效数据

8. 如何判断是否存在雁对称，并对其修整

9. HDF5（h5oina）文件的导出及分析

10. 如何看懂极图和反极图，这些图形和其代表的含义（比如能体现材料的什么性能）。

11. 欧拉角的含义以及如何通过欧拉角提取材料的性能特征？

12. 取向差，大小角晶界、重合点阵的分析，以及其能表达的材料特征信息？

13. 对于常见的钢材等，EBSD能实际分析的特征可能是？