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一、主要规格及技术指标
1、分辨率:15 kV时0.6nm;1 kV时 0.9nm (借助串联减速功能选项)
2、加速电压:0.02-30 kV 连续可调
3、放大倍数: ×20-2,000K4、探针电流:3pA-20nA
二、主要功能及特色
广泛应用于微区形貌和成分分析
三、主要附件及配置
配有能谱与超级能谱
所有设备一览表
微区分析
无机成分分析
有机成分分析
材料性能分析
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