场发射透射电镜(FE-TEM)

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一、预约要求

(1)所有用户需严格遵守中心的《安全管理制度》和《工作规范》,熟悉《安全事故应急预案》,相关文件在中心网站规章制度中;

(2)预约时间:每周五下午13:00起,校内用户可预约后两周的机时,校外用户可预约下一周的机时。正常开放时间为周一至周五的8:30—12:00,14:00—18:00。非工作时间,只对具有上岗证的自主操作用户开放。

(3)要求提供信息:用户预约到机时后,请第一时间在附件中下载《设备预约信息登记单》填写后,提交设备主管工程师(邮箱发送或测试时纸质提交),审核合格后方可进行测试。

(4)所有用户按需预约机时,不得恶意抢占机时。预约成功后,提前3天取消预约不收取任何费用;提前2天取消预约收取30%的测试费;提前一天取消预约将收取50%的测试费;当天取消预约或爽约将收取100%的测试费。

(5)对于迟到者,将按预约开始时间计费。在不影响后续测试的情况下,允许超时测试,超时部分按时间收费。

二、样品要求

(1)透射电镜不能做磁性样品;

(2)透射电镜能够观察200 nm以下的样品;

(3)对于块状样品,要求样品大小为直径3 mm的圆,厚度在200 nm以下;

(4)对于粉末样品,要求样品均匀分散在支持膜上且干燥,能够区分正反面;

(5)对于隐瞒样品信息而造成设备故障或损坏的,中心要求用户或用户课题组承担相应的维修费和误工费。

三、主要规格及技术指标

1、分辨率:点分辨率≤ 0.23 nm,晶格分辨率:≤ 0.104 nm,STEM HAADF分辨率:≤ 0.19 nm

2、束斑尺寸:TEM模式 1-20 nm;Probe模式 < 0.5-20 nm

3、加速电压:最高200 kV,加速电压最小步长 50 V

4、TEM放大倍数:LOW MAG模式 ×50-6 k; MAG模式 ×1 k-2000 k

5、STEM放大倍数:LOW MAG模式 ×200-15 K; MAG模式 ×20 K-150 M

四、主要功能及特色

1、微观结构研究:材料的形貌、结构、缺陷和界面的微观分析,包括明场像、暗场像、STEM像、高角环形暗场像、选区电子衍射、背散射电子/二次电子像和高分辨分析;

2、材料微观结构成分研究:成分的定性和半定量分析,元素的点、线和面分析等。

五、主要附件及配置

JEM-F200采用冷场发射枪,配有HAADF附件,安装有两个100平方毫米的无窗探头及双能谱混合器,可以将普通电镜的能谱分析拓展到原子尺度,低剂量曝光技术和图像三维重构软件可提供独特的图像三维重构功能。