场发射扫描电子显微镜
产品型号:Zeiss GeminiSEM 500
英文名称:Field Emission Scanning Electron Microscope (FE-SEM)
装机时间:2017年3月
管理员:任子君     15891798619        renzijun@xjtu.edu.cn
            童慧敏     82666190-808      hmtong@mail.xjtu.edu.cn
              李娇       82666180-803          lijiao@xjtu.edu.cn
仪器简介:
GeminiSEM是Zeiss生产的一台全功能场发射扫描电子显微镜(FE-SEM),具有可变压力模式,在低电压状态下使用二次电子和背散射电子可以对样品进行高分辨率、高衬度和高信噪比的检测,即使要求苛刻的非导电样品也能获得清晰的图像;对任意样品进行高衬度和低电压成像,并使样品损伤降至最低。该设备装有两个牛津X射线能谱仪,可广泛应用于微区形貌和成分分析。
收费说明:该设备实行成本核算、有偿使用,具体收费标准见预约系统说明。
开放安排:面向校内外开放,校内用户优先,所有用户通过学校仪器设备物联共享信息系统预约和使用设备。
预约和开放时间:每周一13点整开放下一周的预约;周一~周五工作时间对校内外同时开放,校内优先,非工作时间只对自主操作用户开放使用。
核心参数:
1、分辨率:15 kV时0.6nm;1 kV时 0.9nm (借助串联减速功能选项)
2、加速电压:0.02-30 kV 连续可调
3、放大倍数: ×20-2,000K
4、探针电流:3pA-20nA

 

多功能离子减薄仪
产品型号:Leica EM RES102
英文名称:Multifunctional Ion Milling
装机时间:2017年5月
管理员:李娇           18392137838        lijiao@xjtu.edu.cn
           童慧敏        82666190-808        hmtong@mail.xjtu.edu.cn
           任子君        82666190-806        renzijun@xjtu.edu.cn
仪器简介:
EM RES102 多功能离子减薄仪是莱卡公司生产的一款集TEM、SEM和LM样品制备功能于一体的全自动桌面式设备。该设备具有高能量离子研磨功能,也能用于低能量及温和的离子束研磨,抛光区域可达25 mm,研磨过程参数全电脑控制。该设备广泛用于无机薄片样品的大面积减薄以有利于TEM观察,也可对样品表面污染层或涂层进行清洁,或用于样品表面的离子束刻蚀和切割。
收费说明:该设备实行成本核算、有偿使用,具体收费标准见预约系统说明。
开放安排:面向校内外开放,校内用户优先,所有用户通过学校仪器设备物联共享信息系统预约和使用设备。
预约和开放时间:每周一13点整开放下一周的预约;周一~周五工作时间对校内外同时开放,校内优先,非工作时间只对自主操作用户开放使用。
核心参数:
离子束加速电压调节范围:0.8-10 KeV(步长0.1 KeV)
离子束流:单枪最大4.5 mA(双离子枪)
离子枪倾斜角度:±45°(精确度为0.1°)
样品摆动角度:最大360°,每步1°
样品台倾斜角度:-120°至210°(精确度为0.1°)
研磨角度范围:-90°至90°(由样品台倾斜角度决定)